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真空环境摩擦焊在半导体设备中的应用晶圆传输机械臂需在10⁻⁶Pa真空环境下工作,传统焊接残留的挥发物会污染超净环境。采用真空腔体集成摩擦焊技术,焊接过程中腔内氧含量<5ppm,使316L不锈钢焊缝杂质含量降至50ppm以下。
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